凯发国际官网|圣衣神话交易所|封测第一、制造第三、设计第四无锡剑指半导体设备和零

2025-10-08 16:33:17

　　2024年ღ◈★ღ，无锡集成电路产业规上产值超2500亿元ღ◈★ღ，规模居全国第二ღ◈★ღ。其中ღ◈★ღ，芯片设计产值达418亿元ღ◈★ღ，居全国第四ღ◈★ღ；晶圆制造产值达593.45亿元ღ◈★ღ，居全国第三ღ◈★ღ；封装测试产值达652.51亿元ღ◈★ღ，居全国第一ღ◈★ღ。

　　在“核心三业”之外ღ◈★ღ，半导体设备和零部件领域不仅是集成电路产业链最基础的环节ღ◈★ღ，也是长期被国外卡脖子的关键领域ღ◈★ღ。

　　而全球半导体设备市场高度集中ღ◈★ღ，前5大半导体设备供应商地位稳定ღ◈★ღ，分别是美国的应用材料（AMAT）ღ◈★ღ、荷兰的阿斯麦（ASML）ღ◈★ღ、美国的泛林半导体（Lam Research）ღ◈★ღ、日本的东京电子（TEL）和美国的科磊（KLA）ღ◈★ღ。直至2024年ღ◈★ღ，全球前10大半导体设备商中才出现了中国企业的身影ღ◈★ღ。

　　近年来ღ◈★ღ，无锡聚焦28nm及以下先进制程设备凯发国际官网ღ◈★ღ、第三代半导体及光电芯片制造专用设备等关键方向精准发力ღ◈★ღ，“十四五”期间半导体设备与核心零部件产业规模增长220%ღ◈★ღ。目前ღ◈★ღ，无锡拥有设备ღ◈★ღ、零部件重点企业近100家ღ◈★ღ，除前道光刻机领域外均有布局ღ◈★ღ。

　　半导体设备主要分为晶圆制造设备和半导体封装测试设备两大类圣衣神话交易所ღ◈★ღ。其中ღ◈★ღ，薄膜沉积设备与刻蚀设备ღ◈★ღ、光刻设备并称为晶圆制造的三大主设备ღ◈★ღ。

　　在薄膜沉积设备领域ღ◈★ღ，无锡走出了一批国产化主力ღ◈★ღ。无锡首家上市的集成电路装备企业——微导纳米（688147.SH）ღ◈★ღ，便是其中的代表ღ◈★ღ。

　　薄膜制备工艺按照其成膜方法ღ◈★ღ，可分为物理气相沉积（PVD）ღ◈★ღ、化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）三大类ღ◈★ღ。而微导纳米成立的2015年ღ◈★ღ，国内已有PVD设备企业圣衣神话交易所ღ◈★ღ、CVD设备企业ღ◈★ღ，但没有ALD设备企业ღ◈★ღ，国内ALD市场被荷兰先晶半导体（ASM）ღ◈★ღ、东京电子（TEL）等国外厂商占据ღ◈★ღ。

　　面对巨头垄断ღ◈★ღ，具有多年半导体领域ALD技术经验的微导纳米创始技术团队ღ◈★ღ，选择从ALD中最难的高介电常数（High-k）栅氧薄膜工艺做起——一旦最难的工艺问题得到解决ღ◈★ღ，后续的工艺开发会更加容易ღ◈★ღ。

　　微导纳米无疑是幸运的ღ◈★ღ。此前一直非常稳定的半导体供应链ღ◈★ღ，自2018年开始松动ღ◈★ღ：2018年ღ◈★ღ，美国出台了针对中国的半导体产品出口限制凯发国际官网ღ◈★ღ，催生了国内半导体厂商的国产化需求ღ◈★ღ。在此之前ღ◈★ღ，国内Fab厂主要采用海外设备ღ◈★ღ，哪怕国产设备再先进ღ◈★ღ，也不敢冒险试错ღ◈★ღ。

　　2021年ღ◈★ღ，微导纳米首台半导体领域设备实现销售ღ◈★ღ。得益于此前的差异化技术选择ღ◈★ღ，该台设备为国产首台成功应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的量产型High-k原子层沉积设备ღ◈★ღ。

　　2022年成立于无锡的研微（江苏）半导体科技有限公司（以下简称“研微”）ღ◈★ღ，同样以ALD设备破局ღ◈★ღ，在薄膜沉积设备市场站稳脚跟ღ◈★ღ。

　　有设备厂商人士告诉21世纪经济报道记者ღ◈★ღ，在海外设备难以进入中国市场的这几年ღ◈★ღ，国产化设备厂商都在抓紧研发工艺ღ◈★ღ、设备ღ◈★ღ，欲把国产设备放进Fab厂商验证——一旦验证通过ღ◈★ღ，供应链会再次回到稳定状态ღ◈★ღ，后进入的厂商很难分到蛋糕ღ◈★ღ。

　　“我们虽然入局较晚ღ◈★ღ，但还有一些机会ღ◈★ღ。”研微研发副总许正昱指出ღ◈★ღ，很多企业已经实现了“0-1”ღ◈★ღ，但在量产阶段遇到了不少技术难题ღ◈★ღ。而研微的创始团队具备量产机台的经验ღ◈★ღ，在设备设计阶段便以量产为基调ღ◈★ღ，从0-1ღ◈★ღ，再从1-100ღ◈★ღ，攻克目前高端制程中薄膜沉积设备的部分技术难题ღ◈★ღ。

　　目前ღ◈★ღ，研微自主研发的等离子体增强原子层沉积（PEALD）设备实现了在逻辑芯片ღ◈★ღ、存储芯片ღ◈★ღ、先进封装三大赛道全覆盖ღ◈★ღ，并完成了Thermal ALDღ◈★ღ、PEALD等薄膜多类型设备交付ღ◈★ღ。许正昱告诉记者ღ◈★ღ，以ALD高端技术入局ღ◈★ღ，在市场上积累资本ღ◈★ღ、信誉后ღ◈★ღ，研微还将布局更多工艺的薄膜沉积设备进入市场ღ◈★ღ。

　　半导体产业有这样一条规律ღ◈★ღ：一代技术ღ◈★ღ、一代工艺ღ◈★ღ、一代设备ღ◈★ღ。而半导体设备结构复杂ღ◈★ღ、集成度高ღ◈★ღ，绝大部分关键核心技术需要以零部件为载体实现ღ◈★ღ。

　　但目前ღ◈★ღ，我国半导体零部件国产化率仅10%-20%ღ◈★ღ。其中ღ◈★ღ，真空类ღ◈★ღ、仪器仪表和光学领域的国产化率均不足5%ღ◈★ღ。

　　2011年从北京迁至无锡的无锡海古德新技术有限公司（以下简称“海古德”）ღ◈★ღ，是ESC静电卡盘领域的国产化佼佼者ღ◈★ღ。

　　静电卡盘是等离子刻蚀ღ◈★ღ、湿法刻蚀ღ◈★ღ、PVDღ◈★ღ、CVDღ◈★ღ、ALD等多个半导体前道核心设备中的核心零部件ღ◈★ღ，目前也是应用最广泛的晶圆夹持工具ღ◈★ღ。其通过静电吸引力将晶圆牢牢地吸附在表面上圣衣神话交易所ღ◈★ღ，确保在进行薄膜沉积ღ◈★ღ、蚀刻ღ◈★ღ、光刻等高精度工艺时晶圆能够保持稳定平整ღ◈★ღ。

　　尽管这是半导体制造工艺设备中价值量占比相对较高的核心零部件ღ◈★ღ，但该市场由美国的应用材料（AMAT）ღ◈★ღ、泛林半导体（Lam Research）以及日本制造商高度垄断ღ◈★ღ。

　　面对市场空白ღ◈★ღ，海古德自2016年便开始研发ESC静电卡盘ღ◈★ღ，直至2021年国内急需“硬卡替”产品ღ◈★ღ，海古德加快全面研发多款 ESC 静电卡盘凯发国际官网ღ◈★ღ。

　　“我们是正向研发ღ◈★ღ。”海古德董事长孙伟介绍道ღ◈★ღ，基于客户的设备腔体ღ◈★ღ、工艺流程和使用场景ღ◈★ღ，海古德与客户共同进行研发设计ღ◈★ღ。

　　除了定制化ღ◈★ღ，孙伟指出ღ◈★ღ，国产ESC静电卡盘的优势还在于成本ღ◈★ღ。以海古德为例ღ◈★ღ，其从配方ღ◈★ღ、工艺到热震荡烧结技术都是自主研发的ღ◈★ღ，相较进口设备成本较低凯发国际官网ღ◈★ღ，也便于维修ღ◈★ღ。

　　2024年圣衣神话交易所ღ◈★ღ，海古德在国内率先实现ESC静电卡盘量产ღ◈★ღ，并在2025年进一步扩产ღ◈★ღ，目前12寸静电卡盘已大量交付ღ◈★ღ。

　　“2011年ღ◈★ღ，随着无锡政府的高效ღ◈★ღ、务实和资本对海古德的加持ღ◈★ღ，我们来无锡考察完厂房ღ◈★ღ、硬件设备ღ◈★ღ，很快就搬来了无锡ღ◈★ღ。”孙伟回忆道ღ◈★ღ。

　　在海古德之外ღ◈★ღ，无锡也围绕“卡脖子”环节和技术壁垒高ღ◈★ღ、附加值高的关键部件ღ◈★ღ，针对晶圆运输平台ღ◈★ღ、FIB聚焦离子束显微镜零部件ღ◈★ღ、离子注入机零部件等核心零部件ღ◈★ღ，引育孵化出了星微科技ღ◈★ღ、纳斯凯ღ◈★ღ、大族富创得ღ◈★ღ、诚承电子ღ◈★ღ、地心科技等核心零部件制造企业ღ◈★ღ。

　　无锡新港集成电路装备零部件产业园（以下简称“新港产业园”）ღ◈★ღ，自2024年7月无锡国家集成电路设计基地有限公司接手运营以来ღ◈★ღ，目前集聚了吉佳蓝ღ◈★ღ、赫菲斯ღ◈★ღ、晋成半导体等20余家半导体设备和零部件企业ღ◈★ღ，一年内实现“满园”运营ღ◈★ღ。

　　“集成电路产业是一个高度全球化分工的产业ღ◈★ღ。”无锡国家集成电路设计基地有限公司党委书记ღ◈★ღ、董事长ღ◈★ღ、总经理丁强介绍道ღ◈★ღ，新港产业园遵循半导体全球化分工的规律ღ◈★ღ，积极从日本ღ◈★ღ、韩国招引半导体装备ღ◈★ღ、零部件企业ღ◈★ღ，如该公司接手运营后落地的第一个项目——韩国Gigalane（吉佳蓝）刻蚀设备开发项目ღ◈★ღ。

　　在设备ღ◈★ღ、零部件国产化道路上ღ◈★ღ，新港产业园也侧重创新孵化ღ◈★ღ，在园区内设立了无锡半导体装备与关键零部件创新中心（以下简称“创新中心”）ღ◈★ღ。创新中心在专注于关键设备ღ◈★ღ、零部件技术创新孵化的同时ღ◈★ღ，也积极开展与上市公司的合作以及外资项目在地合资生产圣衣神话交易所ღ◈★ღ。

　　“过去五年间ღ◈★ღ，国产半导体装备进步迅猛ღ◈★ღ，功能性工艺设备基本实现了平替圣衣神话交易所ღ◈★ღ，但在光学设备ღ◈★ღ、高端量检测设备以及电子束设备方面差距较大ღ◈★ღ，国产设备中核心模组ღ◈★ღ、核心零部件的国产化率也仍然偏低凯发国际官网ღ◈★ღ。”创新中心总经理谢作建深感国产化之紧迫ღ◈★ღ。

　　创新中心自今年4月正式启用ღ◈★ღ，运营4个多月已经落地了8个项目ღ◈★ღ。其中ღ◈★ღ，某零部件项目在落地后已取得千万级别订单ღ◈★ღ。

　　这一速度背后ღ◈★ღ，创新中心的核心团队拥有成功的半导体装备量产以及国产化零部件量产经验ღ◈★ღ，一方面能够在项目初筛阶段针对卡脖子关键领域定向筛选ღ◈★ღ，另一方面能够在项目落地后嫁接产业资源ღ◈★ღ，推动设备和零部件进入国内主流制造企业和设备厂商的核心供应链ღ◈★ღ。

　　产业需求驱动的创新思路ღ◈★ღ，也体现在创新中心的股权架构上ღ◈★ღ：核心团队持股75%ღ◈★ღ，无锡高新区持股15%ღ◈★ღ，无锡产业研究院持股10%ღ◈★ღ。

　　“创新中心区别于以前的高校研究所ღ◈★ღ，着力打造新型研发机构模式圣衣神话交易所ღ◈★ღ，就要由产业需求来驱动技术项目研发及产业化ღ◈★ღ。”谢作建指出ღ◈★ღ，核心团队占据创新中心股权大头ღ◈★ღ，既有更大的决策权ღ◈★ღ，也要承担更大的绩效考核压力ღ◈★ღ。

　　“半导体零部件种类繁多ღ◈★ღ、规模偏小ღ◈★ღ，从单个零部件项目起步ღ◈★ღ，公司很难做大ღ◈★ღ，必须要做一个平台化公司ღ◈★ღ。”丁强进一步指出ღ◈★ღ，创新中心在全国范围内都是新的尝试ღ◈★ღ，目前已有其他城市在效仿无锡设立创新中心ღ◈★ღ。

　　记者了解到ღ◈★ღ，下一阶段ღ◈★ღ，无锡还将布局维保中心ღ◈★ღ、集散中心ღ◈★ღ、创新中心等三大中心ღ◈★ღ。这一创新布局ღ◈★ღ，也将助力无锡形成从研发ღ◈★ღ、生产到维护的完整产业生态ღ◈★ღ，加速建设集成电路装备及零部件集聚区ღ◈★ღ。凯发国际ღ◈★ღ，凯发天生赢家一触即发凯发国际官网ღ◈★ღ，凯发·k8(国际)ღ◈★ღ，k8凯发(中国)天生赢家·一触即发ღ◈★ღ！AI应用ღ◈★ღ，人工智能ღ◈★ღ，